新たな研究開発設備の導入に伴い、既存クリーンルーム内の温湿度条件や風量分布の見直しが必要となっていました。
研究精度に影響を与えるため、環境制御の精度向上とクリーンルームの安定稼働が求められていました。

クリーンルームの環境条件変更に合わせ、排気スクラバーの能力を強化。
TMESは、過去データとIoTカメラを用いたインバータ周波数、電流値データの取得から分析を行い、空調バランスの最適化を実現しました。

現状風量の可視化とバランス制御の最適化により、要求仕様を満たしたクリーンルームの安定稼働を実現。
クリーンルーム環境の信頼性が向上し、継続的な維持管理の効率化にもつながりました。